能谱仪探针在真空室里，而MVE液氮罐在外面，那么液氮是怎么保护能谱仪探针的呢？

 其实道理很简单：场效应管和晶体是通过金属导体与液氮相连进行冷却，液氮不会与之直接接触。就像热管式的CPU散热器，风扇不是直接对着CPU吹，而是通过热管把热量导出到散热片上再被风扇吹走。

EDS介绍：  

能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。

各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。

探头：一般为Si(Li)锂硅半导体探头
使用范围

1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析；

2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定；

3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测；

4、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域；

5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。